Каталог



1 2
Течеискатели

Предлагаем вашему вниманию современные, портативные и полностью автоматизированные течеискатели контроля герметичности изделий (объектов) различного объема. При помощи данных приборов Вы сможете детектировать локальные течи и суммарные потоки натекания.

Серия ELD500 производства Edwards надежные, портативные, являются полностью мобильными устройствами с удобным интерфейсом настраиваемым под любой технологический процесс заказчика.

Отличительными особенностями данных течеискателей быстрая готовность к работе через 2 минуты после включения. Интуитивный интерфейс управления обеспечит пользователям удобство чтения показаний.

Вакуумные датчики и измерительные системы

Датчики производства компании Canon Anelva – это высокотехнологичные приборы для измерения абсолютного давления в диапазоне от атмосферного давления до 10-10 мбар (10-8 Па). Они обладают высокой чувствительностью, надежностью, долгим сроком службы и легко встраиваются даже в самые сложные автоматизированные системы управления вакуумной откачкой. В линейке вакуумных датчиков Canon Anelva представлены все известные виды преобразователей давления.

Вакуумные камеры

Предлагаем Вам услуги по поставке стандартных вакуумных камер, так и по проектированию и изготовлению вакуумных камер имитации космического пространства любой сложности. Вакуумные камеры, используются для проведения высокоточных испытаний и проверки изделий на герметичность работующих в космическом пространстве, а так же для использования в процессах вакуумного напыления и сушки.

Оборудование для травления и осаждения
Компания Oxford Instruments Plasma Technology является одним из ведущих поставщиков оборудования и современных технологических процессов для травления и осаждения микро и нано структур. Предлагаемое оборудование реализует операции микронной и субмикронной технологии для производства и исследований в области полупроводников, оптоэлектроники, микромеханики, прецизионной оптики и нанотехнологии.
Криогенные насосы HSR
Криогенные вакуумные насосы компании HSR AG предназначены для создания чистого сверхвысокого вакуума в рабочем объеме. Новая запатентованная конструкция насоса позволяет увеличить скорость откачки на несколько порядков. И при этом полностью контролировать скорость откачки определённого газа посредством перекрытия присоединительного фланца. Это обеспечивает контролируемую скорость откачки, например, Ar, при сохранении параметров откачки воды.
Турбомолекулярные насосы серии STP
Edwards является лидером в области чистой и сухой вакуумной технологии. Первые турбомолекулярные насосы STP поступили в продажу в 1983. К настоящему времени установлено более 70000 единиц этих вакуумных насосов по всему миру. 85% из них работают в установках обработки полупроводников, в которых они демонстрируют исключительную надежность. Турбомолекулярные вакуумные насосы STP — лучший выбор для применений, где требуется длительная непрерывная эксплуатация, отсутствие углеводородов, минимальное обслуживание и малая вибрация.
Проверенная технология магнитной подвески. Ротор полностью подвешен в магнитном поле, так, что контакт между ротором и остальными частями насоса исключен. Наряду с обеспечением очень низкого уровня вибраций, отсутствие контакта означает отсутствие износа подшипников и, как следствие, обслуживания насоса.
Турбомолекулярные насосы и контроллеры серии ЕXT
Наши турбомолекулярные и гибридные молекулярные вакуумные насосы ЕХТ совместно с контроллерами серии ЕХС позволяют на современном технологическом уровне получать высокий и сверхвысокий вакуум без присутствия углеводородов.
Так же доступны различные конфигурации вакуумных откачных постов на основе турбомолекулярных насосов серии EXT.
Вакуумные клапана и затворы
Все клапана для вакуумной промышленности
Выбор клапана или натекателя для вашей вакуумной системы будет обусловлен требованиями к рабочим характеристиками элемента.
Промышленные вакуумные насосы и агрегаты

Промышленные вакуумные насосы и агрегаты широко используются для добычи нефти: установки опреснения, деаэрации, десульфатизации, разделения воздуха; переработки нефти: атмосферно-вакуумное испарение и перегонка, колонны четкой ректификации, каталитический крекинг, вакуумные отпарные колонны, вакуум-фильтры, процессы депарафинизации и алкилирования, разгонка высококипящих мономеров; нефтехимии: дистилляция, молекулярная дистилляция, дегазация, транспортировка газов; химии: сухое вакуумирование, откачка реакторов, дистилляция, полимеризация жирных кислот, пиролиз ароматизаторов, получение аммиачной селитры, углекислового калия и др.

Компания Edwards предлагает Вам всеобъемлющий набор вакуумных насосов: механических бустерных насосов, вращательных насосов с масляным уплотнением, поршневых насосов с масляным уплотнением и GV промышленных безмасляных насосов, доступный для промышленного потребителя.
Используя богатый ассортимент дополнительных принадлежностей, выпускаемых компанией, можно расширить области применения вакуумных насосов. Насосы и дополнительные принадлежности поставляются либо как отдельные компоненты, либо, по желанию заказчика, в виде полностью собранных и протестированных изготовителем установок.
Сухие вакуумные насосы серий iH iF iL L IPX и EPX
В этом разделе описаны новые серии сухих вакуумных насосов для полупроводниковой промышленности. Сухие вакуумные насосы серии iH. Насосы серии IH обеспечивают высокую надежность и низкие эксплуатационные затраты при  использовании в сложных процессах, таких как травление, плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD), химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении (LPCVD), используемых при производстве кремниевых подложек и плоских дисплеев.

Достоинства и особенности:
  • Прочный, способный выдерживать большие эксплуатационные нагрузки механизм вакуумного насоса, оптимизированный для работы с побочными продуктами, в том числе содержащимися мелкими частицами;
  • Высокая рабочая температура предотвращает конденсацию;
  • Компактная, эффективная конструкция с малыми габаритами и высокой быстротой откачки;
  • Низкие эксплуатационные затраты;
  • Соответствует требованиям CE, SEMI S2, UL, а также корейскому стандарту S.


Загрузка