Edwards



Вакуумные датчики и измерительные системы

Датчики производства компании Canon Anelva – это высокотехнологичные приборы для измерения абсолютного давления в диапазоне от атмосферного давления до 10-10 мбар (10-8 Па). Они обладают высокой чувствительностью, надежностью, долгим сроком службы и легко встраиваются даже в самые сложные автоматизированные системы управления вакуумной откачкой. В линейке вакуумных датчиков Canon Anelva представлены все известные виды преобразователей давления.

Вакуумные клапана и затворы
Все клапана для вакуумной промышленности
Выбор клапана или натекателя для вашей вакуумной системы будет обусловлен требованиями к рабочим характеристиками элемента.
Галогенные течеискатели
Контроль герметичности крупногабаритных объектов, таких как, турбины электростанций, хранилищ нефтепродуктов, протяженных объектов и т.п. Также эти приборы подходят для малогабаритных объектов и локализации малых течей, в том числе и в полевых условиях.
Криогенные насосы HSR
Криогенные вакуумные насосы компании HSR AG предназначены для создания чистого сверхвысокого вакуума в рабочем объеме. Новая запатентованная конструкция насоса позволяет увеличить скорость откачки на несколько порядков. И при этом полностью контролировать скорость откачки определённого газа посредством перекрытия присоединительного фланца. Это обеспечивает контролируемую скорость откачки, например, Ar, при сохранении параметров откачки воды.
Масс-спектрометрические течеискатели
         Гелиевые масс-спектрометрические течеискатели - наиболее эффективный способ обнаружения течей как в больших системах, так и в миниатюрных изделиях.
Откачные посты EXP
Наша серия откачных постов ЕХР предоставляет вам возможность построения вакуумной системы, которая в точности соответствует вашим требованиям. На этой странице приведены несколько примеров откачных постов ЕХРВ (на подставке) и ЕХРF (рамная конструкция) из широкой гаммы установок производимых компанией Edwards.
Промышленные вакуумные насосы и агрегаты

Промышленные вакуумные насосы и агрегаты широко используются для добычи нефти: установки опреснения, деаэрации, десульфатизации, разделения воздуха; переработки нефти: атмосферно-вакуумное испарение и перегонка, колонны четкой ректификации, каталитический крекинг, вакуумные отпарные колонны, вакуум-фильтры, процессы депарафинизации и алкилирования, разгонка высококипящих мономеров; нефтехимии: дистилляция, молекулярная дистилляция, дегазация, транспортировка газов; химии: сухое вакуумирование, откачка реакторов, дистилляция, полимеризация жирных кислот, пиролиз ароматизаторов, получение аммиачной селитры, углекислового калия и др.

Компания Edwards предлагает Вам всеобъемлющий набор вакуумных насосов: механических бустерных насосов, вращательных насосов с масляным уплотнением, поршневых насосов с масляным уплотнением и GV промышленных безмасляных насосов, доступный для промышленного потребителя.
Используя богатый ассортимент дополнительных принадлежностей, выпускаемых компанией, можно расширить области применения вакуумных насосов. Насосы и дополнительные принадлежности поставляются либо как отдельные компоненты, либо, по желанию заказчика, в виде полностью собранных и протестированных изготовителем установок.
Сухие вакуумные насосы серий iH iF iL L IPX и EPX
В этом разделе описаны новые серии сухих вакуумных насосов для полупроводниковой промышленности. Сухие вакуумные насосы серии iH. Насосы серии IH обеспечивают высокую надежность и низкие эксплуатационные затраты при  использовании в сложных процессах, таких как травление, плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD), химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении (LPCVD), используемых при производстве кремниевых подложек и плоских дисплеев.

Достоинства и особенности:
  • Прочный, способный выдерживать большие эксплуатационные нагрузки механизм вакуумного насоса, оптимизированный для работы с побочными продуктами, в том числе содержащимися мелкими частицами;
  • Высокая рабочая температура предотвращает конденсацию;
  • Компактная, эффективная конструкция с малыми габаритами и высокой быстротой откачки;
  • Низкие эксплуатационные затраты;
  • Соответствует требованиям CE, SEMI S2, UL, а также корейскому стандарту S.
Турбомолекулярные насосы и контроллеры серии ЕXT
Наши турбомолекулярные и гибридные молекулярные вакуумные насосы ЕХТ совместно с контроллерами серии ЕХС позволяют на современном технологическом уровне получать высокий и сверхвысокий вакуум без присутствия углеводородов.
Так же доступны различные конфигурации вакуумных откачных постов на основе турбомолекулярных насосов серии EXT.
Турбомолекулярные насосы серии STP
Edwards является лидером в области чистой и сухой вакуумной технологии. Первые турбомолекулярные насосы STP поступили в продажу в 1983. К настоящему времени установлено более 70000 единиц этих вакуумных насосов по всему миру. 85% из них работают в установках обработки полупроводников, в которых они демонстрируют исключительную надежность. Турбомолекулярные вакуумные насосы STP — лучший выбор для применений, где требуется длительная непрерывная эксплуатация, отсутствие углеводородов, минимальное обслуживание и малая вибрация.
Проверенная технология магнитной подвески. Ротор полностью подвешен в магнитном поле, так, что контакт между ротором и остальными частями насоса исключен. Наряду с обеспечением очень низкого уровня вибраций, отсутствие контакта означает отсутствие износа подшипников и, как следствие, обслуживания насоса.
Установки для нанесения тонких пленок

Установки для нанесения тонких пленок компании Edwards предназначены для исследовательских, конструкторских и опытных применений в любых областях науки и производства.

Модульная конструкция предусматривает широкие возможности для перестройки (модернизации) системы, позволяя исследователю идти в ногу с самыми передовыми технологиями.

Укомплектованные высококачественными средствами откачки и дополнительными модулями установки семейства Auto 306 и Auto 500 послужат гибким и полноценным исследовательским инструментом.



Загрузка