Оборудование для травления и осаждения



Оборудование для травления и осаждения Oxford Instruments Plasma Technology
Компания Oxford Instruments Plasma Technology является одним из ведущих поставщиков оборудования и современных технологических процессов для травления и осаждения микро и нано структур. Предлагаемое оборудование реализует операции микронной и субмикронной технологии для производства и исследований в области полупроводников, оптоэлектроники, микромеханики, прецизионной оптики и нанотехнологии. Системы Oxford Instruments Plasma Technology реализуют процессы плазмохимического травления и осаждения, атомно-слоевого осаждения, ионно-пучкового травления и осаждения. Широкий спектр модификаций систем позволяет заказать конфигурации от лабораторной установки до производственного кластера с перегрузкой подложек из кассеты в кассету. В Oxford Instruments Plasma Technology работает собственная лаборатория, которая обеспечена полным парком технологических установок и современным измерительным и контрольным оборудованием. Лаборатория производит пробную обработку образцов заказчика, модификацию процессов по спецификации заказчика и технологическую поддержку клиентов в течение всего срока эксплуатации оборудования на площадке заказчика. С момента основания в 1980 г., компания Oxford Plasma установила более 3000 систем в лабораториях и производствах по всему миру. Оборудование, выпускаемое Oxford Instruments Plasma Technology соответствует требованиям TQM с 1993 г. и стандарту ISO 9001 с 1996 г.

Загрузка