Контроллер
|
- Отображение длинных значений на STN-LCD дисплее
- Простота работы
- Может работать как обычный дисплей отображения информации
- Отображения цифрового сигнала с датчиков
- Отображение аналогового сигнала с датчиков
|  |
| | Контроллеры |
|---|
| M-601GC одноканальный | M-603GC трехканальный |
|---|
| Электропитание | 90 – 250 В, 50/60 Гц перем. тока |
|---|
| Потребляемая мощность | 50 Вт | 100 вт |
|---|
| Рабочая температура | 5 – 50°С | 5 – 40°С |
|---|
| Температура хранения | -20 – 60°С |
|---|
| Идентификация датчиков | Автоматическая |
|---|
| Количество подключаемых датчиков | 1 | 3 |
|---|
| Типы датчиков | Пирани, широкодиапазонный, мембранно-емкостной, ионизационный |
|---|
| Уставки | 2 пороговых значения | 2 пороговых значения на канал |
|---|
| Аналоговый выход | 1 | 1 на канал |
|---|
| Запись информации | 1 | 1 на канал |
|---|
| Цифровой интерфейс | RS232 |
|---|
| Габаритные размеры | 84 × 106,3 × 212 | 128,5 × 106,3 × 212 |
|---|
| Дисплей | STN-LCD | Цветной TFT LCD |
|---|
| Класс защиты корпуса от внешних воздействия | IP30 |
|---|
Габариные размеры
 Датчики давления.
От атмосферного до сверхвысокого вакуума
Описание
Универсальные, надежные и компактные вакуумные датчики производства компании Anelva обладают превосходными характеристиками в области измерения относительного давления и могут применяться в большинстве областей науки и техники.
Новая серия измерительных приборов A-net – это линейка вакуумных датчиков, которая включает в себя датчики Пирани, мембранно-емкостные, ионизационные и датчики с кварцевым осцилятором. А также 2 контроллера для мониторинга давления и состояния датчиков. В настоящей линейке представлены одноканальный и трехканальный контроллеры.
|
Достоинства
- Небольшие габариты датчиков;
- Низкое энергопотребление;
- Аналоговый выходной сигнал;
- Возможность подключения к ПК;
- Автоматическая запись данных с датчика на контроллер;
- Новый дизайн;
- Возможность приварки датчиков.
|
Области применения
- Производство тонких пленок;
- Полупроводниковая промышленность;
- Электронные микроскопы;
- Масс-анализаторы;
- Плазменно пучковая техника
- Вакуумные аналитические системы;
- Криогенные системы;
- Промышленные вакуумные системы;
- Системы откачки;
- Опытно-конструкторское оборудование.
|
Датчики Пирани
 - Недорогие датчики, которые широко применяются во многих областях промышленности;
- Диапазон измеряемых давлений составляет 5×10-4 – 1000 мбар;
- Эффективны и надежны.
|
Мембранно-емкостные датчики
 - Датчики в которых используется MEMS технологии;
- Сенсорная часть с диафрагмой из монокристаллов кремния;
- Компактность и небольшой вес;
- Высокая чувствительность.
|
Широкодиапазонные датчики с горячим катодом
 - Комбинированный датчик, в корпусе которого находится миниатюрный высоковакуумный преобразователь Байарда-Алперта и форвакуумный преобразователь на основе кварцевого осцилятора;
- Диапазон давлений 4×10-8 – атмосфера;
- Превосходная повторяемость результатов
|
Ионизационные датчики
 - Широкий диапазон измерений;
- Высокоскоростной аналоговый интерфейс;
- Четыре режима эмиссии;
- Пониженное энергопотребление;
- Компактность.
|
Широкодиапазонные датчики с холодным катодом - Комбинированный датчик, в корпусе которого находится высоковакуумный преобразователь с холодным катодом и форвакуумный преобразователь Пирани.
- Диапазон давлений 4×10-7 – атмосфера;
- Возможна чистка измерительной трубки
| |
| | Датчики Пирани |
|---|
Стандартная модель
M-350PG-STD | Датчики с уставками
M-350PG-SP | Датчики с интерфейсом RS-485
M-350PG-RS | Корозионностойкие датчики с уставками M-351PG-SP |
|---|
| Диапазон измеряемых давлений | 5 × 10-2 – 1 × 105(Па) |
|---|
| Напряжение питания | +14 – 30 В пост.тока |
|---|
| Потребляемая мощность | 1 Вт |
|---|
| Аналоговый выходной сигнал | 0 – 10 В | – | 0 – 10 В |
|---|
| Уставки | – | Установка 2 пороговых значений для реле (30 В, 1 А, пост. тока) |
|---|
| Цифровой интерфейс | – | RS-485 | – |
|---|
| Разъём для подключения | D-sub 9 Pins |
|---|
| Максимальная длина кабеля | 200 м (0.34 мм2) |
|---|
| Рабочая температура** | 5 – 60 ℃ |
|---|
| Температура хранения** | -20 – 70 ℃ |
|---|
| Обозначение сенсорной части | MP-1 | MP-2 |
|---|
| Материалы измерительной части | Катод – вольфрам, корпус – нержавеющая сталь SUS304 | Катод - никель, корпус – нержавеющая сталь SUS304 |
|---|
| Габаритные размеры | 88 × 40 × 23 (KF25) |
|---|
| Стандарты фланцев | DN16/25 ISO KF, DN34CF, 1/8NPT, DN15 adaptor, DN18 adaptor |
|---|
| Класс защиты корпуса | IP40 |
|---|
| | Мембранно-емкостные датчики
M-340DG |
|---|
| -QA | -01 | -11 | -12 | -13 |
|---|
| Диапазон измеряемых давлений | Верхний предел*
33 Па | Верхний предел*
133 Па | Верхний предел*
1.33 кПа | Верхний предел*
13.3 кПа | Верхний предел*
133 кПа |
|---|
| Напряжение питания | +13,5 – 26,4 В |
|---|
| Потребляемая мощность | 0,8 Вт |
|---|
| Аналоговый выходной сигнал | 0 – 10 В |
|---|
| Уставки | – |
|---|
| Цифровой интерфейс | – |
|---|
| Разъём для подключения | D-sub 9 Pins |
|---|
| Максимальная длина кабеля | 20 м (0.13 мм2) |
|---|
| Рабочая температура** | 15 – 35℃ | 5 – 50℃ |
|---|
| Температура хранения** | -20 – 70 ℃ |
|---|
| Обозначение сенсорной части | – |
|---|
| Материалы измерительной части | SUS304, SUS316, Al2O3***, Si, PYREX® |
|---|
| Габаритные размеры | 103 × 45 × 45 (KF25 |
|---|
| Стандарты фланцев | DN16/25 ISO KF, DN70CF, Cajon 8VCR (внутр.) , DN15adaptor |
|---|
| Класс защиты корпуса | IP40 |
|---|
* Давление отсчитывается от верхнего предела и опускается на 3 порядка, то есть 133 Па → 0,13 Па, 1.33 кПа → 1,33 Па и т.д.
** Работа и хранение датчиков при высокой температуре снижает срок их службы
| | Широкодиапазонные датчики с горячим катодом | Ионизационные датчики | Широкодиапазонные датчики с холодным катодом |
|---|
Датчики с уставками
M-336MX-SP | Датчики с интерфейсом RS-485
M-336MX-RS | M-311MHG-SP | M-311MHG-RS | Датчики с уставками
M-360CP-SP | Датчики с интерфейсом RS-485
M-360CP-RS |
|---|
| Диапазон измеряемых давлений | 5 × 10-2 – 1 × 105(Па)* | 1 × 10-7 – 10 (Па) | 5×10-7 – 105 (Па) |
|---|
| Напряжение питания | +20 – 28 В, пост.тока | +20 – 28 В, пост.тока | +15 – 30 В, пост.тока |
|---|
| Потребляемая мощность | 12 В | 12 В | 3W |
|---|
| Аналоговый выходной сигнал | 0 – 10 В | – | 0 – 10 В | – | 0 – 10 В | – |
|---|
| Уставки | Установка 2 пороговых значений для реле (30 В, 1 А, пост. тока) |
|---|
| Цифровой интерфейс | – | RS-485 | – | RS-485 | – | RS-485 |
|---|
| Разъём для подключения | D-sub 9 Pins |
|---|
| Максимальная длина кабеля | 300 м (1 мм2) | 200 м (1 мм2) | 300 м (1 мм2) |
|---|
| Рабочая температура** | 5 – 50 ℃ |
|---|
| Температура хранения** | -20 – 70 ℃ |
|---|
| Обозначение сенсорной части | MX-1 | Небольшой датчик Байарда-Алперта (серии MG-2I) | CP-1 |
|---|
| Материалы измерительной части | Катод – Y2O3/Ir; корпус – нержавеющая сталь SUS304 | Катод – Y2O3/Ir; корпус – нержавеющая сталь SUS304 | Катод – вольфрам; електрод – молибден; корпус – нержавеющая сталь SUS304 |
|---|
| Габаритные размеры | 149 × 70 × 50 (KF25) | 114 × 70 × 50 (KF25) | 116×70×70 (NW25) |
|---|
| Стандарты фланцев | DN16/25/40 ISO KF, DN70CF | DN16/25 ISO KF, DN34CF, DN70CF | NW25, NW40, φ70ICF |
|---|
| Класс защиты корпуса | IP40 |
|---|
* Давление отсчитывается от верхнего предела и опускается на 3 порядка, то есть 133 Па → 0,13 Па, 1.33 кПа → 1,33 Па и т.д.
** Работа и хранение датчиков при высокой температуре снижает срок их службы
*** Al2O3 не используется для покрытия мембран датчиков модели M-340DG-QA и M-340DG-01.
Габаритные размеры
|
