Сухие насосы серии iL

Насосы серии iL разработаны специально для процессов, требующих высокой чистоты, обеспечивают низкие эксплуатационные затраты и исключительную надежность, не требуя периодического обслуживания между переборками. Малошумная работа, малые габариты и высокая быстрота действия делают их идеально пригодными для шлюзов, транспортных камер, процессов PVD, электронной микроскопии (SEM) и других подобных задач. Модели iLN имеют уплотнение вала с продувкой азотом и предназначены для областей применений с небольшой нагрузкой, таких, как травление диэлектриков.





Достоинства и особенности:

• Низкие эксплуатационные расходы при отсутствии азота (iL), малой потребляемой мощности и небольшому расходу охлаждающей воды

• Компактная, практичная конструкция с небольшими габаритами и высокими скоростями откачки

• Высокая надежность и, следовательно, низкие расходы на обслуживание

• Соответствует требованиям CE, SEMI S2, UL, а также корейскому стандарту S