 Турбомолекулярные насосы STP с магнитным подвесом ротора – наиболее подходящее решение для ответственной, продолжительной и безмасляной откачки. Для подвешивания ротора во время работы используется многоосевая система магнитных опор, которая позволяет исключить любые загрязнения вакуума и обеспечивает при этом минимальные вибрации, малый шум и практически полное отсутствие необходимости сервисного обслуживания. Турбомолекулярные насосы STP могут быть полностью интегрированы в общую систему управления при использовании в широком спектре применений.
Основные достоинства:
- Повышенная надежность;
- Чистый безмасляный вакуум;
- Диапазон скоростей откачки 300…4500 л/с;
- Модели для специальных применений;
- Предельно низкие вибрации и шум;
- Низкая стоимость использования;
- Практически не требует обслуживания;
- Монтаж в любом пространственном положении;
- Возможность полного удаленного управления;
- Всемирная техподдержка Edwards.
Применения:
- Плазменное травление (хлор, фтор, бром) металлов, оксидов и поликремния;
- Травление при электронно-циклотронном резонансе;
- Осаждение покрытий методами CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD;
- Распыление;
- Откачка источников ионной имплантации, линий ускорителей;
- Молекулярно-лучевая эпитаксия (MBE);
- Диффузия;
- Вскрытие фоторезиста;
- Выращивание кристаллов;
- Тестирование подложек;
- Загрузочные камеры, шлюзы;
- Исследовательские задачи: анализ поверхности, масс-спектрометрия, электронная микроскопия;
- Физика высоких энергий: ионопроводы, ускорители;
- Радиоактивные применения: термоядерные системы, циклотроны.
Турбомолекулярные насосы с интегрированным контроллером:
| Модель | STP-iX455 | STP-iXR1606C | STP-iXA2206C | STP-iXA3306C |
|---|
| Входной фланец | ISO100-K | ISO200-F | ISO250-F | ISO250-F |
|---|
| Выходной фланец | ISO25-KF | ISO40-KF | ISO40-KF | ISO40-KF |
|---|
| Скорость откачки |
|---|
| - по азоту, л/с | 300 | 1600 | 2200 | 2650 |
|---|
| - по водороду, л/с | 300 | 1200 | 1900 | 2300 |
|---|
| Степень сжатия |
|---|
| - по азоту | >108 |
|---|
| - по водороду | >104 | >103 | >104 | >2∙103 |
|---|
| Предельное давление, Па | 6,5∙10-6 | 10-7 | 10-7 | 10-7 |
|---|
| Максимальное рабочее давление, Па | 1,3∙10-1 |
|---|
| Допустимое давление на выходе, Па | 67 | 266 |
|---|
| Частота вращения ротора, об/мин | 55000 | 36500 | 27000 | 27700 |
|---|
| Время запуска, мин | 6 | 8 | 8 | 10 |
|---|
| Рабочее положение | Любое |
|---|
| Тип охлаждения | Воздушное или водяное | Водяное |
|---|
| Масса, кг | 15 | 48 | 62 | 80 |
|---|
| Контроллер | Встроенный |
|---|
Турбомолекулярные насосы для сверхвысокого вакуума:
| Модель | STP301/STP301C | STP-L301C | STP603/STP603C | STP1003/STP1003C |
|---|
| Входной фланец | ISO100-K
ISO100 CF | ISO160-F
ISO160 CF | ISO200-F
ISO200 CF |
|---|
| Выходной фланец | ISO25-KF | ISO25-KF | ISO40-KF | ISO40-KF |
|---|
| Скорость откачки |
|---|
| - по азоту, л/с | 300 | 260 | 650 | 1000 |
|---|
| - по водороду, л/с | 300 | 290 | 550 | 800 |
|---|
| Степень сжатия |
|---|
| - по азоту | >108 |
|---|
| - по водороду | > 2∙104 | > 2∙104 | > 105 | > 103 |
|---|
| Предельное давление, Па | 10-8 | 10-7 | 10-8 |
|---|
| Максимальное рабочее давление, Па | 6,7∙10-2 | — |
|---|
| Допустимое давление на выходе, Па | 13 |
|---|
| Частота вращения ротора, об/мин | 48000 | 48000 | 35000 | 35000 |
|---|
| Время запуска, мин | 3 | 6 |
|---|
| Рабочее положение | Любое |
|---|
| Тип охлаждения | Воздушное или водяное |
|---|
| Масса, кг | 11 | 13 | 31 |
|---|
| Контроллер | SCU-21 | SCU-800 |
|---|
Турбомолекулярные насосы для повышенных газовых нагрузок:
| Модель | STPH301C | STPH451C | STPA803C | STPA1303C | STPA1603C | STPA2203C | STP-XA2703C | STP-XA3203C | STP-XA4503C |
|---|
| Входной фланец | ISO100-K
ISO100 CF | ISO160-K
ISO160 CF | ISO160-F
ISO160 CF | ISO200-F
ISO200 CF | ISO200-F
ISO200 CF | ISO250-F
ISO250 CF | ISO250-F
ISO250 CF | ISO320-F
ISO320 CF | ISO320-F |
|---|
| Выходной фланец | ISO40-KF | ISO40-KF | ISO40-KF | ISO40-KF | ISO40-KF | ISO40-KF | ISO40-KF | ISO40-KF | ISO40-KF |
|---|
| Скорость откачки |
|---|
| - по азоту, л/с | 300 | 450 | 800 | 1300 | 1600 | 2200 | 2650 | 3200 | 4300 |
|---|
| - по водороду, л/с | 200 | 300 | 520 | 800 | 1200 | 1700 | 2050 | 2300 | 2500 |
|---|
| Степень сжатия |
|---|
| - по азоту | > 108 |
|---|
| - по водороду | > 103 | > 7∙103 | > 2,5∙104 | > 6∙103 |
|---|
| Предельное давление, Па | 10-7 | 10-6 | 10-7 |
|---|
| Допустимое давление на выходе, Па | 660 | 270 | 266 | 400 | 266 |
|---|
| Максимальный поток азота, sccm | 2500 | 1500 | 2500 | 1500 | 2300 | 2800 |
|---|
| Частота вращения ротора, об/мин | 48000 | 32500 | 36500 | 27000 | 27500 | 24000 |
|---|
| Время запуска, мин | 4 | 7 | 8 | 12 |
|---|
| Рабочее положение | Любое |
|---|
| Тип охлаждения | Водяное |
|---|
| Масса, кг | 15 | 39 | 35 | 61 | 75 | 80 |
|---|
| Контроллер | SCU-800 | SCU-1600 |
|---|
|
