Каталог : Турбомолекулярные насосы и контроллеры серии ЕXT

Турбомолекулярные насосы nEXT


В насосах nEXT используется проверенная технология сочетания подшипников (керамического нижнего с масляной смазкой, долговечного магнитного верхнего подшипника сухого трения), улучшенная конструкция ротора с новой молекулярной ступенью откачки, обеспечивающая повышенную скорость работы и улучшенные показатели сжатия, а также удобство в использовании. Встроенный привод работает в диапазоне напряжений от 24 до 48 В постоянного тока и полностью совместим, совместно с контроллерами TIC и TAG. Возможна настройка на максимальную потребляемую мощность 80 Вт или 160 Вт. Для откачки аргона рекомендуется контроллер TIC 100, однако время выхода в рабочий режим увеличивается.

Базовая откачная система состоит из насоса nEXT240D, контроллера TAG или TIC, воздушного или водяного узла охлаждения и подходящего форвакуумного насоса.

Новые технологии, реализованные в насосах nEXT, делают возможным их использование в полевых условиях. Замена масляного картриджа занимает порядка 5 минут, а замена нижнего подшипника целиком (с минимальной разборкой изделия) - менее чем за 10 минут, причём для замены требуется минимальное количество специальных инструментов и приспособлений компании-производителя Edwards.


Эти простые операции могут производиться конечным пользователем, в частности, при помощи подсказок технического специалиста на сайте фирмы-производителя Edwards в режиме он-лайн. Обслуживание также может быть выполнено в сервисном центре Edwards.


Насосы nEXT самостоятельно подают сигнал, когда требуется обслуживание, и какого уровня сложности. Сигнал производится последовательным миганием светодиодов, а также путем серии уведомлений через цифровой интерфейс. Возможна также удаленная диагностика изделий.


В настоящее время выпускаются две основные модели насосов серии nEXT:

  • Triplex «T» – версия насосов, которые помимо турбомолекулярной и молекулярной ступеней откачки оснащены также регенеративной ступенью откачки, которая необходима для работы насоса в бустерном режиме;
  • Duplex «D» – версия насосов, в корпусе которых имеется турбомолекулярная и молекулярная ступени откачки.

Так же выпускаются насосы моделей iD и iT, которые снабжены промежуточным портом между турбомолекулярными лопатками и механизмом скольжения Зигбана. Для электронных микроскопов доступны насосы nEXT240DL и nEXT240iDL, обладающие значительно меньшими показателями вибраций и электромагнитным излучением.


Преимущества


  • Высокие показатели скорости откачки и коэффициента компрессии;
  • Простота в обслуживании;
  • Совместимость с контроллерами TAG, TIC Turbo, TIC Turbo&Instrument;
  • Компактность.


Технические параметрыnEXT240D nEXT240ТnEXT300DnEXT300ТnEXT400DnEXT400Т
Входной фланецISOK100 / CF100ISOK100 / CF100ISOK160 / CF160
Выходной фланецISOKF25
Промежуточный входной фланецISOKF25
Скорость откачки:
- по азоту, л/с
- по гелию, л/с
- по водороду, л/с

250
230
165

340
300
280

340
300
280
Коэффициент компрессии:
- по азоту
- по гелию
- по водороду

1011
3 • 105
104

1011
106
1,5 • 104

1011
1 • 106
3 • 105

1011
3 • 106
105

1011
108
5 • 105

1011
108
106
Предельное остаточное давление, Па (ISO/SF)8∙10-65∙10-86∙10-65∙10-81∙10-66∙10-6
Максимальное давление на выходе, Па:
- по азоту
- по гелию
- по водороду

9,5 • 102
7 • 102
2,5 • 102

20 • 102
8,5 • 102
3 • 102

9,5 • 102
7 • 102
2,5 • 102

20 • 102
8,5 • 102
8,5 • 102

103
8,6 • 102
3 • 103

2 • 102
2 • 103
3 • 1062
Рекомендуемый форвакуумный насосRV12 / nXDS10i
Cпособ охлажденияВоздух / вода
Максимальная температура входного фланца, С°758070
Скорость вращения в холостом режиме, об/мин33000 - 60000
Номинальная скорость вращения, об/мин60000
Время разгона до 90% номинальной скорости, с115145180
Уровень шума на расстоянии 1 м, дБА45
Мощность двигателя, Вт200
Вес, кг5,7
8,8
6
9,1
5,7
8,5
6
9,1
8,5
9,5
6,8
8,8

Загрузка