Криогенные насосы HSR

Криогенные вакуумные насосы компании HSR AG предназначены для создания чистого сверхвысокого вакуума в рабочем объеме. Новая запатентованная конструкция насоса позволяет увеличить скорость откачки на несколько порядков. И при этом полностью контролировать скорость откачки определённого газа посредством перекрытия присоединительного фланца. Это обеспечивает контролируемую скорость откачки, например, Ar, при сохранении параметров откачки воды.

В настоящее время HSR AG производит криогенные вакуумные насосы, в которых процесс регенерации полностью автоматизирован благодаря использованию специально разработанных контроллеров.

Криогенные насосы HSR известны безотказностью и надежностью. Длительность непрерывного функционирования между остановками на тех. обслуживание обеспечивает высокую мощность и бесперебойность работы, делает устройства экономически выгодными.

Области применения:

• устройства нанесения тонкоплёночных покрытий;
• камеры - имитаторы условий космического пространства;
• распылительное оборудование;
• системы тестирования сплавов;
• ускорители частиц;
• системы нанесения термопокрытий;
• оборудование металлизации.

HSR VCP – малогабаритные крионасосы, диаметр 100-200 Ду

Новая, запатентованная HSR геометрия насоса увеличивает скорость откачки и мощность на 30%, что обеспечивает более долгую эксплуатацию сравнительно с аналогами других производителей с тем же размером фланца.
Дополнительно конструкция позволяет регулировать дросселирование по различным газам (Ar, O₂, N, CH₄ и др.) при сохранении максимальной скорости откачки паров воды.

Комплект поставки включает:

• крионасос;
• гелиевый компрессор;
• предохранительный клапан;
• гелиевые шланги 2 шт. х 3 м;
• кабель компрессор-криоголовка;
• набор монтажных инструментов;
• датчик температуры на фланце DN16.

Технические характеристики

 

Параметр		Значение
Присоединительный фланец, Ду (мм)		100	160	200
Скорость откачки, л/с	По воздуху	480	1200	1800
	По воде	1100	2600	4800
	По аргону	400	1000	1600
	По водороду	580	1500	2800
Емкость, л	Аргон	100	300	800
	Водород	4	10	15
Сорбционная емкость, мбар·л		50	140	200
Время захолаживания, мин.		65	85	105
Масса, кг		25	28	35
Компрессор		HC-4E1

HSR VELCO – крионасосы 250-1250 Ду

Улучшенная конструкция делает возможной работу в экстремальных условиях, то есть как при резком подъеме давления, так и при температурах до 350 ° C. Запатентованная геометрия насоса обеспечивает чрезвычайно долгий период эксплуатации и короткие циклы регенерации.
Большая хладопроизводительная мощность поддерживается в течение длительного периода использования без необходимости технического обслуживания.
Комплект поставки включает:
• крионасос;
• гелиевый компрессор;
• предохранительный клапан;
• гелиевые шланги длиной 3 м;
• кабель компрессор-криоголовка;
• набор монтажных инструментов;
• датчик температуры второй ступени на фланце DN16 (опционально доступен датчик температуры для первой ступени).



Технические характеристики

  

Параметр		Значение
Присоединительный фланец, Ду (мм)		320	400	500	630	800	900	1000	1250
Скорость откачки, л/с	По воздуху	5000	8000	12000	16500	28000	36000	45000	67000
	По воде	11000	18500	27000	45000	75000	92000	110000	175000
	По аргону	4200	6800	8500	13500	24000	31000	38000	57000
	По водороду	5000	7500	9100	10000	25000	33000	40000	50000
Емкость, л	Аргон	2500	8000	10000	15000	20000	21000	22000	30000
	Водород	25	32	38	50	100	110	120	150
Сорбционная емкость, мбар·л		600		750	900	1500
Время захолаживания, мин.		90	100	105	150	140		160	180
Масса, кг		55	40	45	85	200	260	300	320
Компрессор		F-70H

HSR VELCO S (Sputter) – распылительные криогенные насосы 250-400 Ду

Этот диапазон был разработан специально, чтобы устранить т.н. «эффект памяти».
Насос спроектирован на основе новейших технологий без использования дополнительных нагревательных элементов, в целях исключить потери в объемах откачки или в производительности. Высокая хладопроизводительность гарантирует самый высокий уровень термической стабильности. Улучшенная конструкция делает возможной работу при высоком давлении аргона.
Нечувствителен к неблагоприятным воздействиям воздуха или газа.
Корпус насоса исполнен из алюминия или нержавеющей стали.
Производится как в кожухе, так и в бескорпусном (фланцевом) варианте.
Комплект поставки включает:
• крионасос;
• компрессор;
• предохранительный клапан;
• гелиевые шланги 2 шт. х 3 м;
• кабель компрессор - криоголовка;
• набор монтажных инструментов;
• датчик температуры на фланце DN16.

Технические характеристики

   

Параметр		Значение
Присоединительный фланец, Ду (мм)		250	320	400
Скорость откачки, л/с	По воздуху	3200	5000	8000
	По воде	7500	11000	18500
	По аргону	2700	4200	6800
	По водороду	4500	5000	7500
Емкость, стандартные литры	Аргон	1600	2500	8000
	Водород	20	25	38
Сорбционная емкость, мбар·л		300	600	750
Время захолаживания, мин.		80	90	100
Масса, кг		45	55	65
Компрессор		F-70H

HSR VELCO Xe – насосы с повышенной скоростью откачки ксенона

Насосы серии VELCO Xe разработаны специально для откачки ксенона. Температура первой ступени постоянно поддерживается менее 70 K, что дает возможность эффективно откачивать ксенон в диапазоне давлений 10^-4 - 5·10^-5 торр. Конструкция криопанели первой ступени также изменена с целью увеличения емкости ксенона. Эти изменения составляют «ноу-хау» компании HSR.
Специальные версии криогенных насосов для откачки ксенона практически не имеют аналогов на рынке и являются оптимальным решением для задач, связанных с ксеноном и необходимостью его откачки, в частности, для испытаний ионных двигателей.
Комплект поставки включает:
• крионасос;
• гелиевый компрессор;
• предохранительный клапан;
• гелиевые шланги длиной 3 м;
• кабель компрессор - криоголовка;
• набор монтажных инструментов;
• датчики температуры первой и второй ступени на фланце DN16.

Технические характеристики

  

Параметр		Значение
Присоединительный фланец, Ду (мм)		400	500	632	900	1250
Скорость откачки, л/с	По воздуху	8000	12000	18500	36500	67000
	По воде	18500	27000	46500	93000	170000
	По аргону	6800	8500	15500	31000	57000
	По водороду	7500	9100	14000	33000	50000
	По ксенону	6800	10500	18000	34000	65000
Емкость, стандартные литры	Аргон	8000	10000	15000	21000	30000
	Водород	32	38	50	110	150
Сорбционная емкость, мбар·л		600	750	900	1500
Время захолаживания, мин.		140	160	260	280	300
Масса, кг		40	45	115	305	340
Компрессор		F-70H