Каталог : Сухие вакуумные насосы серий iH iF iL L IPX и EPX

Насосы iH1800 и iH160


       Насосы iH1800 и iH160 были введены в состав серии iH для обеспечения возможности высокоскоростной откачки, требующейся для процессов обработки 300 мм полупроводниковых пластин, а также при производстве плоских дисплеев. Эти насосы обеспечивают максимальную быстроту действия 1800 и 160 м3/ч (500 и 44,4 л/с)соответственно. Также как и остальные насосы серии iH, эти новые изделия обеспечивают гарантированную высокую надежность и низкие эксплуатационные затраты для процессов со сложными условиями, таких как травление, PECVD и LPCVD, когда в откачиваемой среде присутствуют побочные продукты: мелкие частицы, конденсируемые пары или коррозионные и агрессивныегазы.






Загрузка