Каталог
![]() |
Течеискатели
Предлагаем вашему вниманию современные, портативные и полностью автоматизированные течеискатели контроля герметичности изделий (объектов) различного объема. При помощи данных приборов Вы сможете детектировать локальные течи и суммарные потоки натекания. Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель – это прибор, предназначенный для анализа герметичности конструкции в вакуумном оборудовании. При этом оборудование может быть заполнено пробным газом или допускать откачку внутренней поверхности. В качестве пробного газа используется гелий. Течеискатель ТИ1-50 – универсальный легкоперемещаемый автоматизированный электронный прибор с полным набором функций современного течеискателя. Серия ELD500 производства Edwards надежные, портативные, являются полностью мобильными устройствами с удобным интерфейсом настраиваемым под любой технологический процесс заказчика. |
![]() |
Вакуумные датчики и измерительные системы
Датчики производства компании Canon Anelva – это высокотехнологичные приборы для измерения абсолютного давления в диапазоне от атмосферного давления до 10-10 мбар (10-8 Па). Они обладают высокой чувствительностью, надежностью, долгим сроком службы и легко встраиваются даже в самые сложные автоматизированные системы управления вакуумной откачкой. В линейке вакуумных датчиков Canon Anelva представлены все известные виды преобразователей давления. |
![]() |
Вакуумные камеры
Предлагаем Вам услуги по поставке стандартных вакуумных камер, так и по проектированию и изготовлению вакуумных камер имитации космического пространства любой сложности. Вакуумные камеры, используются для проведения высокоточных испытаний и проверки изделий на герметичность работующих в космическом пространстве, а так же для использования в процессах вакуумного напыления и сушки. |
![]() |
Оборудование для травления и осаждения
Компания Oxford Instruments Plasma Technology является одним из ведущих
поставщиков оборудования и современных технологических процессов для
травления и осаждения микро и нано структур. Предлагаемое оборудование
реализует операции микронной и субмикронной технологии для
производства и исследований в области полупроводников, оптоэлектроники,
микромеханики, прецизионной оптики и нанотехнологии.
|
![]() |
Криогенные насосы HSR
Криогенные вакуумные насосы компании HSR AG предназначены для создания чистого сверхвысокого вакуума в рабочем объеме. Новая запатентованная конструкция насоса позволяет увеличить скорость откачки на несколько порядков. И при этом полностью контролировать скорость откачки определённого газа посредством перекрытия присоединительного фланца. Это обеспечивает контролируемую скорость откачки, например, Ar, при сохранении параметров откачки воды.
|
![]() |
Турбомолекулярные насосы серии STP
Edwards является лидером в области чистой и сухой вакуумной технологии. Первые турбомолекулярные насосы STP поступили в продажу
в 1983. К настоящему времени установлено более 70000 единиц этих вакуумных насосов по всему миру. 85% из них работают в установках
обработки полупроводников, в которых они демонстрируют исключительную надежность. Турбомолекулярные вакуумные насосы STP — лучший выбор для применений,
где требуется длительная непрерывная эксплуатация, отсутствие углеводородов, минимальное обслуживание и малая вибрация. Проверенная технология магнитной подвески. Ротор полностью подвешен в магнитном поле, так, что контакт между ротором и остальными частями насоса исключен. Наряду с обеспечением очень низкого уровня вибраций, отсутствие контакта означает отсутствие износа подшипников и, как следствие, обслуживания насоса. |
![]() |
Турбомолекулярные насосы и контроллеры серии ЕXT
Наши турбомолекулярные и гибридные молекулярные вакуумные насосы ЕХТ совместно с контроллерами серии ЕХС позволяют на современном
технологическом уровне получать высокий и сверхвысокий вакуум без присутствия углеводородов. Так же доступны различные конфигурации вакуумных откачных постов на основе турбомолекулярных насосов серии EXT. |
![]() |
Вакуумные клапана и затворы
Все клапана для вакуумной промышленности
Выбор клапана или натекателя для вашей вакуумной системы будет обусловлен требованиями к рабочим характеристиками элемента. |
![]() |
Промышленные вакуумные насосы и агрегаты
Промышленные вакуумные насосы и агрегаты широко используются для добычи нефти: установки опреснения, деаэрации, десульфатизации, разделения воздуха; переработки нефти: атмосферно-вакуумное испарение и перегонка, колонны четкой ректификации, каталитический крекинг, вакуумные отпарные колонны, вакуум-фильтры, процессы депарафинизации и алкилирования, разгонка высококипящих мономеров; нефтехимии: дистилляция, молекулярная дистилляция, дегазация, транспортировка газов; химии: сухое вакуумирование, откачка реакторов, дистилляция, полимеризация жирных кислот, пиролиз ароматизаторов, получение аммиачной селитры, углекислового калия и др. Компания Edwards
предлагает Вам всеобъемлющий набор вакуумных насосов: механических бустерных насосов,
вращательных насосов с масляным уплотнением, поршневых насосов с
масляным уплотнением и GV промышленных безмасляных насосов, доступный
для промышленного потребителя. Используя богатый
ассортимент дополнительных принадлежностей, выпускаемых компанией,
можно расширить области применения вакуумных насосов. Насосы и дополнительные
принадлежности поставляются либо как отдельные компоненты, либо, по
желанию заказчика, в виде полностью собранных и протестированных
изготовителем установок. |
![]() |
Сухие вакуумные насосы серий iH iF iL L IPX и EPX
В этом разделе описаны новые серии сухих вакуумных насосов для полупроводниковой промышленности. Сухие вакуумные насосы серии iH. Насосы серии IH обеспечивают высокую надежность и низкие эксплуатационные затраты при использовании в сложных процессах, таких как травление, плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD), химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении (LPCVD), используемых при производстве кремниевых подложек и плоских дисплеев. Достоинства и особенности:
|