Каталог


1234
Криогенные насосы HSR
Криогенные вакуумные насосы компании HSR AG предназначены для создания чистого сверхвысокого вакуума в рабочем объеме. Новая запатентованная конструкция насоса позволяет увеличить скорость откачки на несколько порядков. И при этом полностью контролировать скорость откачки определённого газа посредством перекрытия присоединительного фланца. Это обеспечивает контролируемую скорость откачки, например, Ar, при сохранении параметров откачки воды.
Оборудование для травления и осаждения
Компания Oxford Instruments Plasma Technology является одним из ведущих поставщиков оборудования и современных технологических процессов для травления и осаждения микро и нано структур. Предлагаемое оборудование реализует операции микронной и субмикронной технологии для производства и исследований в области полупроводников, оптоэлектроники, микромеханики, прецизионной оптики и нанотехнологии.
Промышленные вакуумные насосы и агрегаты

Промышленные вакуумные насосы и агрегаты широко используются для добычи нефти: установки опреснения, деаэрации, десульфатизации, разделения воздуха; переработки нефти: атмосферно-вакуумное испарение и перегонка, колонны четкой ректификации, каталитический крекинг, вакуумные отпарные колонны, вакуум-фильтры, процессы депарафинизации и алкилирования, разгонка высококипящих мономеров; нефтехимии: дистилляция, молекулярная дистилляция, дегазация, транспортировка газов; химии: сухое вакуумирование, откачка реакторов, дистилляция, полимеризация жирных кислот, пиролиз ароматизаторов, получение аммиачной селитры, углекислового калия и др.

Компания Edwards предлагает Вам всеобъемлющий набор вакуумных насосов: механических бустерных насосов, вращательных насосов с масляным уплотнением, поршневых насосов с масляным уплотнением и GV промышленных безмасляных насосов, доступный для промышленного потребителя.

Используя богатый ассортимент дополнительных принадлежностей, выпускаемых компанией, можно расширить области применения вакуумных насосов. Насосы и дополнительные принадлежности поставляются либо как отдельные компоненты, либо, по желанию заказчика, в виде полностью собранных и протестированных изготовителем установок.

Сухие вакуумные насосы серий iH iF iL L IPX и EPX
В этом разделе описаны новые серии сухих вакуумных насосов для полупроводниковой промышленности. Сухие вакуумные насосы серии iH. Насосы серии IH обеспечивают высокую надежность и низкие эксплуатационные затраты при  использовании в сложных процессах, таких как травление, плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD), химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении (LPCVD), используемых при производстве кремниевых подложек и плоских дисплеев.

Достоинства и особенности:
  • Прочный, способный выдерживать большие эксплуатационные нагрузки механизм вакуумного насоса, оптимизированный для работы с побочными продуктами, в том числе содержащимися мелкими частицами;
  • Высокая рабочая температура предотвращает конденсацию;
  • Компактная, эффективная конструкция с малыми габаритами и высокой быстротой откачки;
  • Низкие эксплуатационные затраты;
  • Соответствует требованиям CE, SEMI S2, UL, а также корейскому стандарту S.
Турбомолекулярные насосы и контроллеры серии ЕXT
Наши турбомолекулярные и гибридные молекулярные вакуумные насосы ЕХТ совместно с контроллерами серии ЕХС позволяют на современном технологическом уровне получать высокий и сверхвысокий вакуум без присутствия углеводородов.
Так же доступны различные конфигурации вакуумных откачных постов на основе турбомолекулярных насосов серии EXT.

Загрузка