Каталог

Криогенные вакуумные насосы компании HSR AG предназначены для создания чистого сверхвысокого вакуума в рабочем объеме. Новая запатентованная конструкция насоса позволяет увеличить скорость откачки на несколько порядков. И при этом полностью контролировать скорость откачки определённого газа посредством перекрытия присоединительного фланца. Это обеспечивает контролируемую скорость откачки, например, Ar, при сохранении параметров откачки воды.

Компания Oxford Instruments Plasma Technology является одним из ведущих поставщиков оборудования и современных технологических процессов для травления и осаждения микро и нано структур. Предлагаемое оборудование реализует операции микронной и субмикронной технологии для производства и исследований в области полупроводников, оптоэлектроники, микромеханики, прецизионной оптики и нанотехнологии.

Промышленные вакуумные насосы и агрегаты широко используются для добычи нефти: установки опреснения, деаэрации, десульфатизации, разделения воздуха; переработки нефти: атмосферно-вакуумное испарение и перегонка, колонны четкой ректификации, каталитический крекинг, вакуумные отпарные колонны, вакуум-фильтры, процессы депарафинизации и алкилирования, разгонка высококипящих мономеров; нефтехимии: дистилляция, молекулярная дистилляция, дегазация, транспортировка газов; химии: сухое вакуумирование, откачка реакторов, дистилляция, полимеризация жирных кислот, пиролиз ароматизаторов, получение аммиачной селитры, углекислового калия и др.

Компания Edwards предлагает Вам всеобъемлющий набор вакуумных насосов: механических бустерных насосов, вращательных насосов с масляным уплотнением, поршневых насосов с масляным уплотнением и GV промышленных безмасляных насосов, доступный для промышленного потребителя.

Используя богатый ассортимент дополнительных принадлежностей, выпускаемых компанией, можно расширить области применения вакуумных насосов. Насосы и дополнительные принадлежности поставляются либо как отдельные компоненты, либо, по желанию заказчика, в виде полностью собранных и протестированных изготовителем установок.

В этом разделе описаны новые серии сухих вакуумных насосов для полупроводниковой промышленности. Сухие вакуумные насосы серии iH. Насосы серии IH обеспечивают высокую надежность и низкие эксплуатационные затраты при  использовании в сложных процессах, таких как травление, плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD), химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении (LPCVD), используемых при производстве кремниевых подложек и плоских дисплеев.

Достоинства и особенности:

• Прочный, способный выдерживать большие эксплуатационные нагрузки механизм вакуумного насоса, оптимизированный для работы с побочными продуктами, в том числе содержащимися мелкими частицами;
• Высокая рабочая температура предотвращает конденсацию;
• Компактная, эффективная конструкция с малыми габаритами и высокой быстротой откачки;
• Низкие эксплуатационные затраты;
• Соответствует требованиям CE, SEMI S2, UL, а также корейскому стандарту S.

Наши турбомолекулярные и гибридные молекулярные вакуумные насосы ЕХТ совместно с контроллерами серии ЕХС позволяют на современном технологическом уровне получать высокий и сверхвысокий вакуум без присутствия углеводородов.
Так же доступны различные конфигурации вакуумных откачных постов на основе турбомолекулярных насосов серии EXT.