Каталог

Наши турбомолекулярные и гибридные молекулярные вакуумные насосы ЕХТ совместно с контроллерами серии ЕХС позволяют на современном технологическом уровне получать высокий и сверхвысокий вакуум без присутствия углеводородов.
Так же доступны различные конфигурации вакуумных откачных постов на основе турбомолекулярных насосов серии EXT.

Edwards является лидером в области чистой и сухой вакуумной технологии. Первые турбомолекулярные насосы STP поступили в продажу в 1983. К настоящему времени установлено более 70000 единиц этих вакуумных насосов по всему миру. 85% из них работают в установках обработки полупроводников, в которых они демонстрируют исключительную надежность. Турбомолекулярные вакуумные насосы STP — лучший выбор для применений, где требуется длительная непрерывная эксплуатация, отсутствие углеводородов, минимальное обслуживание и малая вибрация.
Проверенная технология магнитной подвески. Ротор полностью подвешен в магнитном поле, так, что контакт между ротором и остальными частями насоса исключен. Наряду с обеспечением очень низкого уровня вибраций, отсутствие контакта означает отсутствие износа подшипников и, как следствие, обслуживания насоса.